通過離子風咀向清洗區域輸送離子風,從而確保該區域靜電始終保持在合理范圍內,使晶圓無法因靜電超標造成損壞。
Copyright ? 2017-2018 無錫研平電子科技有限公司 版權所有 《中華人民共和國電信與信息服務業務經營許可證》編號:蘇ICP備16043454號-2 蘇公網安備 32021302000323號